Accurion EP4: микроскопическая эллипсометрия нового поколения
Accurion EP4 — это передовой прибор для визуализирующей эллипсометрии, объединяющий принципы классической эллипсометрии и оптической микроскопии. Благодаря этому синтезу он обеспечивает беспрецедентную точность измерений толщины и показателя преломления на микрообъектах размером до 1 мкм. В отличие от традиционных (невизуализирующих) эллипсометров, EP4 одновременно анализирует все пиксели в поле зрения, что позволяет получать не просто точечные данные, а полноценные 3D-карты исследуемой поверхности.
Прибор оснащён функцией эллипсометрического контрастного живого изображения, позволяющего визуализировать даже субнанометровые особенности поверхности. Это даёт возможность заранее определить области интереса и провести целенаправленный анализ без предварительной маркировки или разрушения образца.
Технические характеристики Accurion EP4
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Пространственное разрешение | до 1 мкм |
| Диапазон измеряемой толщины | 0,1 нм – 10 мкм |
| Спектральный диапазон | 190/250/360 нм – 1000/1700 нм (в зависимости от конфигурации) |
| Тип измерения | Спектроскопическая визуализирующая эллипсометрия |
| Метод подавления паразитных отражений | Освещение по принципу «лезвия» (knife-edge illumination) |
| Режимы анализа | Одновременный анализ всех пикселей, выбор областей интереса (ROI), гистограммы, профили линий |
| Поддержка дополнительных аксессуаров | Кюветы, термоконтроль, системы подачи жидкости, QCM-D |
| Программное обеспечение | EP4 Control, DataStudio, EP4 Model |
| Варианты поставки | Лабораторная версия и OEM-версия для систем контроля качества |
Преимущества визуализирующей эллипсометрии
Визуализирующая эллипсометрия кардинально отличается от классической за счёт пространственного разрешения. Если обычный эллипсометр усредняет сигнал по всей площади светового пятна (обычно от 35 мкм до 2 мм), то EP4 фиксирует распределение параметров по каждому микронному участку. Это особенно важно при работе с неоднородными, структурированными или дефектными образцами.
Ключевые преимущества:
- Точное измерение толщины и показателя преломления на микрообъектах (от 1 мкм)
- Высококонтрастная визуализация ультратонких слоёв без использования красителей
- Параллельный сбор более чем 100 000 измерений за один цикл
- Интуитивный выбор областей интереса прямо в режиме реального времени
- Обнаружение загрязнений, дефектов и повреждений на ранних стадиях
Применение Accurion EP4 в различных отраслях
2D-материалы: Анализ графена и других двумерных материалов, включая CVD-выращенные и экзофолиантные структуры.
Криволинейные поверхности: Измерение антибликовых покрытий на микролинзах и других неплоских элементах оптики.
Прозрачные подложки: Исследование тонких плёнок для гибкой электроники и дисплеев с подавлением отражений от обратной стороны.
Поверхностная инженерия: Контроль формирования силанизированных связей в структурированных массивах без флуоресцентных меток.
Биофизика: Визуализация монослоёв на границе воздух–вода, анализ белков, ДНК и наночастиц методом эллипсометрии и BAM.
Анизотропные плёнки: Определение ориентации оптической оси и показателей преломления в кристаллах чёрного фосфора и аналогичных материалах.
MEMS и фотоника: Характеризация микроэлектромеханических систем и волноводов с разрешением 1 мкм и точностью до 0,1 нм.
Дисплеи и аккумуляторы: Быстрый контроль состава и толщины слоёв в производстве дисплеев; операндо-мониторинг электродов во время заряда/разряда.
Программное обеспечение и расширяемость
Модульная архитектура ПО EP4 включает три ключевых компонента:
- EP4 Control — управление прибором и выбор ROI в реальном времени;
- DataStudio — обработка данных, построение гистограмм и профилей;
- EP4 Model — моделирование многослойных структур и расчёт физических параметров (включая долю компонентов в смешанных слоях и ширину запрещённой зоны).
Дополнительно доступны аксессуары для работы в контролируемых условиях: термостатируемые кюветы, системы жидкостной подачи, совместимость с QCM-D для комплексного биоанализа.
Accurion EP4 задаёт новый стандарт в области оптической характеризации тонких плёнок. Его способность сочетать нанометровую чувствительность эллипсометрии с микроскопическим пространственным разрешением делает его незаменимым инструментом в нанотехнологиях, микроэлектронике, материаловедении и биомедицинских исследованиях. Прибор идеально подходит как для фундаментальных исследований, так и для внедрения в промышленные линии контроля качества.