Эллипсометр Accurion RSE — высокоскоростной контроль тонких пленок и поверхностей

Accurion RSE (Referenced Spectroscopic Ellipsometry) — это передовой эллипсометр-рефлектометр, разработанный для сверхбыстрого картирования толщины тонких пленок в промышленных и исследовательских условиях. Благодаря уникальной технологии «референсной» спектроскопической эллипсометрии, прибор сочетает высокую чувствительность классического эллипсометра с невероятной скоростью измерений, превосходящей даже традиционные рефлектометры. Это делает RSE идеальным решением для задач контроля качества, где важны как точность, так и производительность.

Accurion RSE способен измерять толщину пленок в диапазоне от 0,1 нм до 10 мкм, обеспечивая при этом захват 200 полных спектров в секунду. Например, сканирование области размером 100 мм × 100 мм занимает всего 12 минут, в ходе которых регистрируется 67 000 спектров. Такая скорость и плотность данных позволяют создавать детализированные карты толщины с микронным разрешением, выявляя даже самые незначительные отклонения и загрязнения на поверхности.

Принцип работы Referenced Spectroscopic Ellipsometry

В отличие от традиционной эллипсометрии, RSE сравнивает оптический отклик образца с заранее заданным эталоном. Это позволяет измерять эллипсометрическую разность между образцом и референсом без необходимости перемещения или модуляции оптических компонентов. Вся спектральная информация в диапазоне 450–900 нм фиксируется за один «выстрел» (single-shot), что обеспечивает беспрецедентную скорость сбора данных.

Accurion RSE, референсная спектроскопическая эллипсометрия, измерение толщины пленок, ультратонкие пленки, инспекция пластин, обнаружение загрязнений, эллипсометр, спектроскопия, 450–900 нм, look-up table, single-shot измерение, межслойные структуры, контроль качества, Park Systems

Для обработки огромного потока информации используется метод подгонки по таблице соответствий (look-up table fitting). Перед началом измерения рассчитывается библиотека теоретических спектров для заданной оптической модели. Во время сканирования полученные данные мгновенно сопоставляются с этой таблицей, что позволяет выполнять оценку толщины и оптических параметров в реальном времени — без задержек и потери разрешения.

Технические характеристики Accurion RSE

Метод измерения	Референсная спектроскопическая эллипсометрия (RSE)
Спектральный диапазон	450 – 900 нм
Скорость измерения	200 спектров в секунду
Размер пятна	25 × 40 мкм при угле падения 60°
Диапазон измерения толщины	0,1 нм – 10 мкм
Обработка данных	Режим реального времени с использованием look-up table
Совместимость с XY-столом	Да, с синхронизацией для крупномасштабного картирования
Тип измерения	Однократный (single-shot), без движущихся частей
Применения	Инспекция пластин, ультратонкие пленки, межслойные структуры, обнаружение загрязнений

Преимущества RSE перед традиционными методами

Повышенная чувствительность к ультратонким пленкам — особенно критична при работе с монослоями и слоями толщиной менее 1 нм.
Спектроскопическая информация — в отличие от лазерных эллипсометров, RSE использует широкий спектральный диапазон, что позволяет одновременно определять толщину и оптическую плотность (показатель преломления).
Высокая скорость — благодаря отсутствию движущихся элементов и single-shot регистрации, RSE значительно быстрее обычных эллипсометров.
Стабильность и надежность — референсная схема снижает влияние внешних возмущений, таких как вибрации или температурные колебания.

Ключевые области применения

Инспекция пластин (Wafer Inspection): RSE позволяет быстро и точно оценить однородность покрытия на целых кремниевых пластинах, выявляя микродефекты, неоднородности и отклонения толщины.

Обнаружение загрязнений: Даже микроскопические частицы или органические остатки вызывают локальные изменения в эллипсометрическом сигнале, что делает их легко обнаруживаемыми на фоне чистой поверхности.

Ультратонкие пленки: Прибор идеально подходит для анализа оксидных слоев, самособирающихся монослоев (SAM), графена и других 2D-материалов, где толщина составляет доли нанометра.

Межслойные структуры: RSE способен разрешать толщину отдельных слоев в многослойных системах, что важно для микроэлектроники, оптоэлектроники и защитных покрытий.

Accurion RSE — это не просто измерительный прибор, а мощная платформа для высокоскоростного, высокоточного контроля тонкопленочных технологий. Он открывает новые возможности для автоматизации и цифровизации процессов в полупроводниковой промышленности, микроэлектронике, материаловедении и нанотехнологиях.