Accurion SIMON — ваш вход в мир изображающей эллипсометрии
Accurion SIMON — это инновационный прибор, разработанный специально для решения рутинных задач измерения тонких пленок и наноструктур. Благодаря простому пользовательскому интерфейсу и надежной конструкции фиксированного угла эллипсометра, SIMON обеспечивает легкий и эффективный вход в технологию изображающей эллипсометрии. Устройство поддерживает два режима работы: микроскопический и эллипсометрический, что делает его универсальным инструментом для лабораторий и производственных линий контроля качества.
В микроскопическом режиме SIMON демонстрирует высокую скорость сканирования и позволяет визуализировать неоднородности и дефекты даже в самых тонких слоях — например, в монослоях толщиной всего 0,35 нм. В эллипсометрическом режиме прибор точно измеряет толщину и показатель преломления материалов образца. Объединяя чувствительность эллипсометрии с возможностями микроскопии, SIMON генерирует микроскопические изображения, на которых отображаются пространственные вариации толщины и оптических свойств, что особенно ценно при работе с микро- и наноструктурированными образцами.
Технические характеристики Accurion SIMON
| Режимы работы | Микроскопический и эллипсометрический |
| Латеральное разрешение | до 1 мкм |
| Диапазон измерения толщины | 0,01 нм – 5 мкм (в зависимости от комбинации образца/подложки) |
| Разрешение по толщине | менее 0,01 нм |
| Скорость сканирования | ~500 мкм (X) × 550 мкм (Y) менее чем за 1 минуту |
| Измерение показателя преломления | Да, в эллипсометрическом режиме |
| Автоматическая стыковка изображений | Поддерживается; полная инспекция 4-дюймовой пластины за 47 минут |
| Минимальный размер обнаруживаемых дефектов | 10 мкм |
| Гистограммный анализ | Да, на основе одного измерения |
| Применения | 2D-материалы, MEMS, фотоника, дисплеи, биоинтерфейсы, аккумуляторные материалы, изогнутые поверхности, анизотропные пленки и др. |
Преимущества использования SIMON в научных и промышленных задачах
Accurion SIMON особенно востребован в задачах, где требуется быстрая и точная локализация дефектов, неоднородностей или фрагментов двумерных материалов. Например, в контроле качества больших площадей, таких как кремниевые пластины, SIMON автоматически собирает изображения с плавными переходами, обеспечивая полную карту поверхности. Это позволяет выявлять частицы, пузырьки, трещины и другие аномалии размером от 10 мкм.
Благодаря возможности построения карт толщины, SIMON предоставляет данные, сопоставимые с результатами атомно-силовой микроскопии (AFM), но без ограничений, связанных с топографией поверхности. Это особенно важно при анализе многослойных структур, где верхний слой может быть прозрачным или не проводящим.
Прибор также находит широкое применение в исследованиях биоинтерфейсов, где требуется высокая чувствительность к моно- и субмонослоям. SIMON позволяет получать микрокарты эллипсометрических углов и использовать контрастный режим для отслеживания изменений толщины, что критично при изучении белков, ДНК, липидов и наночастиц на границе раздела фаз.
Уникальные области применения
2D-материалы: Анализ графена и других двумерных материалов, включая CVD-выращенные и экзофолиантные структуры.
Криволинейные поверхности: Измерение антибликовых покрытий на микролинзах и других неплоских элементах оптики.
Прозрачные подложки: Исследование тонких плёнок для гибкой электроники и дисплеев с подавлением отражений от обратной стороны.
Поверхностная инженерия: Контроль формирования силанизированных связей в структурированных массивах без флуоресцентных меток.
Биофизика: Визуализация монослоёв на границе воздух–вода, анализ белков, ДНК и наночастиц методом эллипсометрии и BAM.
Анизотропные плёнки: Определение ориентации оптической оси и показателей преломления в кристаллах чёрного фосфора и аналогичных материалах.
MEMS и фотоника: Характеризация микроэлектромеханических систем и волноводов с разрешением 1 мкм и точностью до 0,1 нм.
Дисплеи и аккумуляторы: Быстрый контроль состава и толщины слоёв в производстве дисплеев; операндо-мониторинг электродов во время заряда/разряда.
Accurion SIMON — это не просто прибор, а полноценная платформа для визуализации и количественного анализа наноразмерных структур, сочетающая скорость, точность и простоту использования. Он идеально подходит как для исследовательских лабораторий, так и для промышленных систем контроля качества, где важны надежность, воспроизводимость и высокая производительность.