Park NX20 300 mm — ведущий инструмент нанометрологии для исследований и промышленности
Атомно-силовой микроскоп Park NX20 300 mm представляет собой передовое решение для лабораторий, работающих с крупногабаритными образцами, включая полупроводниковые пластины диаметром до 300 мм. Этот прибор разработан как мост между академическими исследованиями и промышленным производством, обеспечивая высокую точность, повторяемость и надежность измерений на наноуровне. Благодаря уникальной архитектуре и запатентованным технологиям Park Systems, NX20 300 mm стал эталоном для анализа, контроля качества и фундаментальных исследований в материаловедении, микроэлектронике, биоинженерии и полимерных науках.
Ключевые особенности Park NX20 300 mm
Микроскоп сочетает в себе промышленную надежность и научную гибкость. Среди его отличительных черт:
- Поддержка пластин диаметром до 300 мм
- Двухсервоприводная система XY-сканирования для максимальной точности
- Автоматический подход зонда к образцу с моторизованной Z-платформой
- Осевой оптический микроскоп с программным управлением освещением
- Модульная конструкция с возможностью расширения функционала
- Предварительно установленные зонды с кинематическим креплением
Технология True Non-contact™
Как и другие системы Park, NX20 300 mm работает в режиме True Non-contact™ — эксклюзивной технологии, основанной на регистрации сил притяжения Ван-дер-Ваальса между острием зонда и поверхностью образца. Этот бесконтактный метод исключает механическое воздействие на поверхность, что особенно важно при работе с мягкими, хрупкими или ультратонкими материалами. Результат — высококачественные, свободные от артефактов изображения с сохранением целостности как образца, так и зонда.
Ортогональная система сканирования
В отличие от традиционных АСМ с трубчатыми сканерами, Park NX20 300 mm использует разделённую ортогональную систему: 2D-гибкий сканер перемещает образец по осям X и Y, а отдельный 1D-сканер управляет вертикальным движением зонда. Это полностью устраняет перекосы и перекрёстные помехи между осями.
.png)
Для работы с крупными пластинами (до 300 × 300 мм) применена двухсервоприводная архитектура XY: по обе стороны каждой оси расположены независимые актуаторы и датчики положения. Такой подход компенсирует возможные повороты держателя образца и гарантирует точное позиционирование даже на краю пластины.
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
|---|---|
| Максимальный размер образца | Пластины до 300 мм в диаметре |
| Тип сканирования | Ортогональная система (XY — образец, Z — зонд) |
| Режим работы | True Non-contact™, контактный, прерывистый контакт и др. |
| Z-сканер | Стековый пьезоактуатор с датчиком деформации, диапазон до 15 мкм |
| Прямолинейность Z-сканера | ≤ 0,1% в рабочем диапазоне |
| Отклонение от оси Z | < 5 нм при 15 мкм |
| XY-платформа | Моторизованная, с разрешением 0,6 мкм, двухсервоприводная система |
| Оптический микроскоп | Осевой, с программно управляемым LED-освещением, вид зонда и образца |
| Подход зонда | Автоматический, с моторизованной Z-платформой и фокусировкой |
| Система замены зонда | Предустановленные чип-носители с кинематическим креплением и магнитной фиксацией |
| Лазерная система | Суперлюминесцентный диод, низкая когерентность, регулировка луча по X/Y |
| Модульность | Слот расширения для подключения дополнительных модулей и режимов |
Удобство и автоматизация
Park NX20 300 mm ориентирован на высокую производительность в условиях как исследовательской лаборатории, так и производственной среды. Автоматический подход зонда к образцу, моторизованная XY-платформа с точностью позиционирования 0,6 мкм и интегрированный осевой микроскоп значительно ускоряют подготовку к измерению и минимизируют риск ошибок оператора.
Благодаря слайдовой системе крепления головки («ласточкин хвост»), установка и техническое обслуживание выполняются быстро и без инструментов. Модульный слот расширения позволяет легко добавлять новые функции — от электрической нанотомографии до термомеханического анализа — без замены основного оборудования.
Применение
Park NX20 300 mm активно используется в следующих областях:
- Анализ полупроводниковых пластин 300 мм
- Контроль качества тонких плёнок и диэлектриков
- Исследование 2D-материалов и гетероструктур
- Анализ биологических и полимерных поверхностей
- Разработка MEMS/NEMS и нанофотонных устройств
- Переход от лабораторных исследований к inline-производству
Благодаря сочетанию промышленной надёжности, научной точности и гибкости конфигурации, Park NX20 300 mm остаётся выбором ведущих центров нанотехнологий по всему миру.