NX20 — флагманский атомно-силовой микроскоп для нанометрологии и анализа отказов

Атомно-силовой микроскоп Park NX20 представляет собой передовое решение в области нанометрологии, разработанное специально для исследований крупных образцов и анализа отказов. Этот прибор завоевал признание как в академических, так и в промышленных лабораториях по всему миру благодаря своей беспрецедентной точности, надежности и простоте эксплуатации. Park NX20 — это первая модель от Park Systems, поддерживающая образцы диаметром до 200 мм, что делает её идеальной платформой для сложных задач в материаловедении, полупроводниковой промышленности, биоинженерии и полимерных технологиях.

Ключевым преимуществом Park NX20 является использование запатентованной технологии ортогонального сканирования и режима True Non-contact™, которые практически полностью исключают артефакты поперечного движения и обеспечивают бережное взаимодействие с образцом и зондом. Благодаря этому достигается высококачественная, свободная от искажений визуализация даже самых деликатных или сложных поверхностей на наноуровне.

Технические характеристики Park NX20

Тип образца	Образцы до 200 мм (включая пластины)
Сканер XY	Двухсервоприводная архитектура с двумя парами актуаторов и датчиков на каждой оси; рабочая область 200 × 200 мм²
Сканер Z	Стековый пьезоактуатор с датчиком деформации; ход до 15 мкм
Прямолинейность Z-сканера	Отклонение менее 0,1% в рабочем диапазоне; паразитное движение менее 5 нм
Разрешение по XY	0,6 мкм (шаг двигателя)
Оптический микроскоп	Высокоточный коаксиальный микроскоп с LED-подсветкой, управляемой ПО
Лазерная система	Суперлюминесцентный диод с низкой когерентностью; регулировка луча по осям X и Y
Система замены зонда	Предустановленные картриджи с кинематическим креплением; магнитная фиксация
Режим сканирования	True Non-contact™ (регистрация сил Ван-дер-Ваальса)
Модульность	Слот расширения для подключения дополнительных модулей и режимов AFM

Инновационные технологии Park NX20

Ортогональная система сканирования устраняет перекосы и кросс-talk между осями, характерные для традиционных трубчатых сканеров. В Park NX20 используется гибкая конструкция: 2D-сканер перемещает образец в плоскости XY, а отдельный 1D-сканер управляет вертикальным движением зонда. Это обеспечивает линейность, ортогональность и высокую динамику сканирования даже на больших площадях.

Park NX20, атомно-силовой микроскоп, нанометрология, анализ отказов, True Non-contact, ортогональное сканирование, 200 мм пластины, Z-сканер, коаксиальный микроскоп, кинематическое крепление зонда, модульный AFM, пьезоактуатор, суперлюминесцентный диод, материалы, полупроводники, биоинженерия

Режим True Non-contact™ — эксклюзивная технология Park Systems, позволяющая получать топографию поверхности за счёт регистрации слабых притягивающих сил Ван- der-Ваальса между остриём и образцом. Такой подход минимизирует износ зонда и предотвращает повреждение чувствительных поверхностей.

Быстрая система Z-серво с комбинацией стекового пьезоактуатора и датчика деформации обеспечивает высокоскоростное и высокоточное сканирование на поверхностях любой шероховатости — от ультраплоских до сильно рельефных. Линейность измерений сохраняется независимо от размера сканирования.

Коаксиальный оптический микроскоп с программно управляемой LED-подсветкой позволяет в реальном времени наблюдать как образец, так и зонд, что значительно упрощает выравнивание и автоматический подход острия к поверхности.

Предустановленные зонды в кинематических картриджах обеспечивают повторяемость позиционирования и снижают риск повреждения кантилевера при замене. Магнитная фиксация и три прецизионных шарика гарантируют надёжную и точную установку.

Благодаря модульной конструкции Park NX20 легко адаптируется под специфические задачи: достаточно вставить соответствующий модуль в слот расширения, чтобы активировать дополнительные режимы AFM, такие как электрическая, механическая или термическая нанометрология.

Атомно-силовой микроскоп Park NX20 — не просто инструмент, а полноценная платформа для передовых исследований, сочетающая научную строгость, инженерную надёжность и удобство повседневной работы.