Парк NX15 — универсальный инструмент нанометрологии для передовых исследований
Атомно-силовой микроскоп Park NX15 представляет собой высокоточное и надежное решение для нанометрологических задач в самых разных областях науки и промышленности. Благодаря уникальной архитектуре и запатентованным технологиям, этот прибор обеспечивает беспрецедентную точность измерений, сохраняя целостность как образца, так и зонда. Park NX15 идеально подходит для исследований в области полупроводников, материаловедения, полимеров и биоинженерии.
Ключевые особенности Park NX15
Микроскоп Park NX15 построен на улучшенной механической платформе серии NX, которая обеспечивает высокую скорость и точность сканирования. Его система поддерживает полное покрытие пластин диаметром до 150 мм, что делает его особенно ценным для лабораторий, работающих с полупроводниковыми материалами. Основные преимущества включают:
- Быстрый Z-сервопривод и высокая разрешающая способность
- Улучшенная прямолинейность движения Z-сканера
- Интегрированный оптический микроскоп с осевой оптикой
- Модульная конструкция с возможностью расширения функционала
- Простая и надежная замена зондов благодаря предварительно установленным чип-носителям
 |  |
Технология True Non-contact™
Одной из ключевых инноваций Park NX15 является режим True Non-contact™ — эксклюзивная технология компании Park Systems. В отличие от традиционных методов, где зонд взаимодействует с поверхностью через контакт или прерывистое касание, True Non-contact™ использует силы притяжения Ван-дер-Ваальса для получения топографии поверхности. Это позволяет избежать повреждения как образца, так и острия зонда, особенно при работе с мягкими, хрупкими или легко деформируемыми материалами.
Ортогональная система сканирования
В отличие от классических АСМ с трубчатыми сканерами, Park NX15 использует ортогональную систему сканирования. Здесь движение по осям X и Y осуществляется гибким 2D-сканером, перемещающим образец, в то время как отдельный 1D-сканер управляет вертикальным перемещением зонда. Такая архитектура полностью исключает перекрестные помехи между осями и искажения изображения, особенно на больших площадях сканирования. Прямолинейность движения Z-сканера составляет менее 0,1% в рабочем диапазоне, а отклонение от оси — менее 5 нм даже при максимальном выдвижении 15 мкм.
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
|---|---|
| Максимальный размер образца | Пластины до 150 мм в диаметре |
| Тип сканирования | Ортогональная система (XY — образец, Z — зонд) |
| Режим работы | True Non-contact™, контактный, прерывистый контакт и др. |
| Z-сканер | Стековый пьезоактуатор с датчиком деформации, диапазон до 15 мкм |
| Прямолинейность Z-сканера | ≤ 0,1% в рабочем диапазоне |
| Отклонение от оси Z | < 5 нм при 15 мкм |
| Оптический микроскоп | Осевой, с программно управляемым LED-освещением |
| Система замены зонда | Предустановленные чип-носители с кинематическим креплением |
| Модульность | Слот расширения для подключения дополнительных модулей |
| Лазерная система | Суперлюминесцентный диод, низкая когерентность, точная регулировка луча |
Удобство и надежность в эксплуатации
Конструкция Park NX15 продумана до мелочей: от интуитивной регулировки лазерного луча с помощью ручек по осям X и Y до магнитной фиксации зонда, обеспечивающей повторяемость позиционирования. Предварительно выровненные чип-носители минимизируют риск повреждения кантилевера при замене, что особенно важно в условиях интенсивной лабораторной работы.
Модульная архитектура позволяет легко расширять функционал прибора: достаточно вставить соответствующий модуль в слот расширения, чтобы активировать новые режимы сканирования или аналитические возможности.
Применение
Park NX15 активно используется в:
- Исследованиях полупроводниковых структур и микроэлектроники
- Анализе наноматериалов и композитов
- Изучении биологических образцов и мягких материалов
- Контроле качества тонких пленок и покрытий
- Разработке новых полимеров и наноструктурированных поверхностей
Благодаря сочетанию точности, надежности и удобства, Park NX15 стал эталонным инструментом для лабораторий, где важны воспроизводимость результатов и защита ценных образцов.