Парк FX300 — передовой атомно-силовой микроскоп для образцов диаметром до 300 мм
Атомно-силовой микроскоп Park FX300 представляет собой новейшее достижение компании Park Systems в области наноизмерений. Он разработан специально для исследований и промышленных задач, требующих высокоточной обработки крупных образцов диаметром до 300 мм. Благодаря уникальной конструкции, минимальному уровню шума, исключительно низкому тепловому дрейфу и повышенной механической стабильности, Park FX300 обеспечивает беспрецедентную точность и надежность в работе даже при самых сложных условиях.
Как и все микроскопы серии Park, FX300 оснащён ортогональной системой сканирования и запатентованной технологией True Non-contact™, что позволяет получать высокоразрешающие изображения без повреждения даже самых хрупких поверхностей. Автоматизация ключевых процессов — от замены зонда до настройки параметров сканирования — делает работу с прибором интуитивно понятной как для новичков, так и для опытных пользователей.
Технические характеристики Park FX300
| Параметр | Характеристика |
|---|---|
| Максимальный размер образца | 300 мм в диаметре |
| Тип сканирования | Ортогональная система: 2D гибкий сканер XY + 1D Z-сканер |
| Режим работы | True Non-contact™ (безконтактный режим на основе сил Ван-дер-Ваальса) |
| Автоматическая замена зонда | Да, до 16 предустановленных зондов с QR-кодированием |
| Автоматическая юстировка лазера | Да, с использованием системы распознавания канталевера и двухмоторного управления зеркалом |
| Оптическая система | Осионная оптика с разрешением до 0.87 мкм, фиксированный лазерный луч через объектив |
| Система позиционирования | Двухсервоприводная архитектура XY с двумя парами актуаторов и датчиков на каждой оси |
| Тепловой дрейф | Минимизирован за счёт использования материалов с низким коэффициентом теплового расширения |
| Безопасность | Кнопка аварийного отключения (EMO), сигнальная башня, фотоионизатор, опциональный фильтр воздуха |
| Программное обеспечение | SmartScan™ с автоматической настройкой параметров и анализом данных |
Инновационные технологии Park FX300
Ключевым преимуществом Park FX300 является его ортогональная система сканирования. В отличие от традиционных AFM с трубчатыми сканерами, подверженными перекосам и взаимному влиянию осей, FX300 использует гибкие сканеры: один — для перемещения образца по осям X и Y, другой — для независимого контроля движения зонда по оси Z. Это обеспечивает линейность, ортогональность и высокую скорость сканирования без искажений.
.png)
Для работы с большими образцами реализована двухсервоприводная архитектура XY-сканера. Два датчика положения и два актуатора на каждой оси компенсируют возможные вращательные отклонения патрона, гарантируя точность позиционирования по всей площади 300 × 300 мм².
Автоматизация и удобство эксплуатации
FX300 значительно упрощает рутинные операции. Система автоматической юстировки лазера использует камеру для распознавания формы и положения канталевера, после чего точно совмещает его с фокусом лазерного луча. Два прецизионных мотора корректируют положение зеркала, чтобы луч попадал точно в центр фотодетектора (PSPD). Это сокращает время подготовки и исключает ошибки при настройке.
Автоматический модуль замены зондов (ATX) вмещает до 16 предварительно установленных зондов. Каждый носитель помечен QR-кодом, содержащим данные о типе зонда, серийном номере, дате производства и спецификациях. Программное обеспечение SmartScan™ отображает эту информацию, позволяя пользователю выбрать нужный зонд одним кликом мыши.
Безопасность и соответствие промышленным стандартам
Park FX300 разработан с учётом требований промышленных лабораторий. Встроенный контроллер оборудования обеспечивает централизованное управление. Фотоионизатор эффективно устраняет статическое электричество с поверхности образца. Кнопка аварийного отключения (EMO) мгновенно останавливает работу системы, а сигнальная башня с звуковым оповещением информирует о текущем статусе прибора. Для особо чувствительных измерений доступна опция установки фильтрующего вентилятора, поддерживающего чистоту воздуха.
Park FX300 — это не просто атомно-силовой микроскоп, а комплексное решение для наноанализа крупных образцов в научных и производственных средах. Его сочетание передовых технологий, автоматизации и промышленной надёжности делает его идеальным выбором для лабораторий, работающих с полупроводниками, материалами, биологическими структурами и другими объектами, требующими высочайшей точности на наноуровне.