Атомно-силовой микроскоп Park FX200: точность и надежность на наноуровне
Атомно-силовой микроскоп Park FX200 — это новейшая разработка компании Park Systems, созданная для выполнения высокоточных измерений на образцах диаметром до 200 мм. Благодаря минимальному уровню шума, исключительно низкому тепловому дрейфу и усиленной механической стабильности, FX200 обеспечивает беспрецедентную точность и надежность в самых требовательных условиях — как в научных лабораториях, так и на промышленных предприятиях.
Как и все микроскопы серии Park, FX200 оснащён ортогональной системой сканирования и запатентованной технологией True Non-contact™, что позволяет получать высококачественные изображения даже самых хрупких и чувствительных образцов без их повреждения. Это делает прибор незаменимым инструментом для исследований в области материаловедения, полупроводниковой промышленности, биологии и нанотехнологий.
 |  |
Ключевые особенности Park FX200
Микроскоп Park FX200 сочетает в себе передовые инженерные решения и интуитивно понятный интерфейс, что значительно упрощает работу с ним. Среди ключевых функций:
- Автоматическая замена зонда (ATX)
- Автоматическое выравнивание лазерного луча
- Камера обзора образца с полным полем зрения 200 мм
- Автоматическая оптимизация параметров сканирования
- Оптический автофокус
- Последовательные измерения в нескольких точках
- Мощные инструменты анализа данных
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
|---|---|
| Максимальный размер образца | 200 мм в диаметре |
| Система сканирования | Ортогональная, с гибкими направляющими (flexure-guided) |
| Режим сканирования | True Non-contact™ (истинный неконтактный режим) |
| Точность позиционирования XY | Двойная серво-система с двумя парами актуаторов и датчиков на каждую ось |
| Разрешение оптического микроскопа | до 0,87 мкм по ширине линии |
| Автоматическая замена зондов | До 16 предварительно установленных зондов с QR-кодированием |
| Лазерная система | Суперлюминесцентный диод (SLD), фиксированный фокус через объектив |
| Тепловой дрейф | Минимизирован за счёт использования материалов с низким коэффициентом теплового расширения |
| Механическая стабильность | Усиленная трапециевидная стойка, крестообразные роликовые направляющие Z-столика |
| Программное обеспечение | SmartScan™ с автоматической настройкой и анализом данных |
Инновационные технологии Park FX200
Ортогональная система сканирования устраняет перекосы и искажения, характерные для традиционных трубчатых сканеров. В FX200 движение по осям X и Y осуществляется отдельным 2D-сканером, а перемещение зонда по оси Z — независимым 1D-сканером. Такая конструкция гарантирует линейность, ортогональность и высокую скорость сканирования даже на больших площадях.
.png)
True Non-contact™ — эксклюзивная технология Park Systems, основанная на регистрации сил притяжения (ван-дер-ваальсовых) между остриём зонда и поверхностью образца. Этот режим позволяет избежать износа зонда и повреждения поверхности, что особенно важно при работе с мягкими или легко деформируемыми материалами.
.png)
Автоматическая замена зонда (ATX) использует кинематическую систему крепления с магнитной фиксацией и трёхточечной опорой. Каждый зонд помещён в специальный держатель с QR-кодом, содержащим информацию о типе, серийном номере и технических параметрах. Это исключает ошибки при установке и сокращает время подготовки к измерению.
Автоматическое выравнивание лазера реализовано с помощью системы машинного зрения: камера распознаёт положение кантилевера, а два прецизионных двигателя корректируют положение зеркала, чтобы точно направить лазерный луч на центр фотодетектора. Это обеспечивает стабильный сигнал и повторяемость результатов.
Камера обзора образца позволяет оператору просто кликнуть по нужной точке на изображении 200-мм пластины, и система автоматически переместит стол в указанную координату. Это особенно удобно при многоточечных измерениях или при необходимости возврата к ранее исследованным участкам.
Применение Park FX200
Благодаря своей универсальности и высокой точности, Park FX200 активно используется в следующих областях:
- Контроль качества в производстве полупроводников
- Исследование двухмерных материалов (графен, MoS₂ и др.)
- Анализ биологических образцов (клетки, ДНК, белки)
- Разработка новых наноматериалов и покрытий
- Метрология наноструктур и калибровочных решёток
Интуитивный интерфейс SmartScan™, автоматизация рутинных операций и высокая воспроизводимость делают Park FX200 идеальным выбором как для начинающих пользователей, так и для опытных исследователей, стремящихся повысить производительность и точность своих экспериментов.